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一、钛靶的化学要求
| ASTM B265 | GB / T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含量（≤wt％） | ||||||
| N | C | H | 铁 | Ø | 其他 | ||||
| 纯钛 | Gr1 | TA1 | 1类 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| Gr2 | TA2 | 2类 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| 钛合金 | Gr5 | TC4 钛-6Al-4V | 60级 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | 铝：5.5-6.75 V：3.5-4.5 |
| Gr7 | TA9 | 第12课 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 钯：0.12-0.25 | |
| Gr12 | TA10 | 60E级 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 钼：0.2-0.4 镍：0.6-0.9 | |
二、规格
| 产品名称 | 钛圆形靶 |
| 牌号 | 钛（Gr1，Gr2，Gr5，Gr7，GR12） 合金靶材：Ti-Al，Ti-Cr，Ti-Zr等 |
| 起源 | 陕西省宝鸡市 |
| 钛含量 | ≥99.5（％） |
| 杂质含量 | <0.02（％） |
| 密度 | 4.51或4.50 g / cm3 |
| 标准 | ASTM B381；ASTM F67，ASTM F136 |
| 尺寸 | 1.圆形靶：Ø30--2000mm，厚度3.0mm--300mm； 2.板托：长度：200-500mm宽度：100-230mm厚度：3--40mm 3.靶材：直径：30-200mm厚度：5-20mm长度：500-2000mm 4.可定制 |
| 技术 | 锻造和数控加工 |
| 应用 | 钛靶材广泛应用于半导体分离，薄膜涂层材料，存储电极涂层，溅射涂层，表面涂层，玻璃涂层等领域。 |
三、管靶室温下的纵向机械性能
| 牌号 | 拉伸强度Rm / MPa（> =） | 屈服强度Rp0.2（MPa） | 伸长 A4D（％） | 减少面积 Z（％） |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18岁 | 25 |
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