鼎鸿源金属一站式谈靶材的应用及分类

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。 有关钛靶、镍靶、铬靶、锆靶等常规靶材的应用及分类方法，鼎鸿源金属结合多年靶材深加工经验与相关资料，整理如下：

1、靶材的应用

1）用于显示器上 

靶材目前被普遍应用于平面显示器（FPD)上。近年来，平面显示器在市场上的应用率逐年增高，同时也带动了ITO靶材的技术与市场需求。ITO靶材有两种，一种是采用铟锡合金靶材，另外一种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结。 

2）用于微电子领域 

靶材也被应用于半导体产业，相对来说半导体产业对于靶材溅射薄膜的品质要求是比较苛刻的。现在12英寸（300衄口）的硅晶片也被制作出来，但是互连线的宽度却在减小。目前硅片制造商对于靶材的要求都是大尺寸、高纯度、低偏析以及细晶粒等，对其品质要求比较高，这就要求靶材需要具有更好的微观结构。 

3）用于存储技术上 

存储技术行业对于靶材的需求量很大，高密度、大容量硬盘的发展，离不开大量的巨磁阻薄膜材料，CoF~Cu多层复合膜是如今应用比较广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展，用它制造出来的磁光盘有着使用寿命长、存储容量大以及可反复无接触擦写的特点。 

2、靶材的分类

靶材有哪些？靶实际上是一个宽泛的概念，靶材的三类划分方法：1.按外形尺寸可分为圆柱形、长方形、正方形板靶和管靶。 按材质分靶材可分为金属靶材、高分子陶瓷非金属靶材和合金靶材等;2.按材质分靶材可分为常规金属靶材，贵金属靶材，稀土金属靶材，非金属靶材，合金溅射靶材，陶瓷溅射靶材等;3.按照应用领域可分为半导体用靶材、显示面板用靶材、太阳能电池用靶材、磁记录用靶材等。