高纯钛板靶管靶等靶材的应用简述

众所周知，纯度是靶材的主要性能指标之一。在实际应用中，靶材的纯度要求也不同。与普通工业纯钛相比，高纯钛价格昂贵，应用范围窄。主要用于满足一些特殊行业的需要。有关高纯钛靶材的主要应用，鼎鸿源金属整理如下：

1、生物材料

钛是一种非磁性金属，在强磁场中不会被磁化，与人体相容性好，无毒副作用。它可用于制造人体植入装置。一般医用钛材料未达到高纯钛的水平，但考虑到钛中杂质的溶解，植入物用钛的纯度应尽可能高。高纯钛丝可用作生物结合材料。此外，嵌入导管内的钛注射针也达到高纯钛水平。

2、装饰材料

高纯钛具有优异的耐大气腐蚀性，在大气中长期使用不会变色，确保钛的原始自然颜色。因此，高纯钛也可用作建筑装饰材料。此外，近年来，一些高端装饰品和一些佩戴物品，如手镯、手表和眼镜架，都是由钛制成的，利用了钛的特性，如耐腐蚀、不变色、长期光泽好、与人体皮肤接触时不致敏。某些装饰用钛的纯度已达到5N级。

3、吸气材料

作为一种化学性质非常活跃的金属，钛可以在高温下与许多元素和化合物发生反应。高纯钛对活性气体（如O2、N2、CO、CO2和650℃以上的水蒸气）有很强的吸附作用。泵壁上蒸发的Ti膜可形成具有高吸附容量的表面。这一特性使得Ti在超高真空泵系统中被广泛用作吸气剂。如果用于升华泵溅射离子泵，极限工作压力溅射离子泵可降低至10-9pa。

4、电子信息材料

近年来，随着半导体技术、信息技术等高科技领域的飞速发展，高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMs和平板显示器中的应用越来越多，对钛材料的纯度要求也越来越高。在半导体超大规模集成电路工业中，控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和布线材料。溅射法用于制造这些材料，溅射法中使用的钛靶材要求高纯度，尤其是碱金属元素和放射性元素的含量非常低。

近年来，其配套的溅射设备也开始使用与溅射钛靶材纯度相同的高纯钛。目前，对于4兆比特超大规模集成电路，钛的纯度要求达到4n5（99.995%）~5N（99.999%），而对于16兆比特第三代超大规模集成电路，钛的纯度要求达到6N（99.9999%）。