钛靶生产厂家-钛合金锻件-TA1钛法兰-钛加工件-钛管加工件-钛合金棒-钛合金板
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钛合金靶块

发布时间:2021-01-26人气:216
产品名称钛及钛合金靶块,钛靶材
牌号/材质TA1,TA2,TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)
标准钛圆靶 :技术条件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97      钛板靶 :技术条件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93
规格圆靶:常用规格:60/65/95/100*30/32/40/45mm         板靶:(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm 管靶: 70mm * 7mm/10mm
表面车光,可加螺纹
特性重量轻,优异的抗腐蚀性,防腐性,强度高,耐热性好,延展性好,无毒性,无磁性,优良的机械强度等。
状态退火态(M) 热加工状态(R) 冷加工状态(Y)(退火,超生波探伤)
应用钛靶主要用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业
品名纯度密度镀膜优势色形状常规尺寸应用行业
钛铝(TiAl)合金靶2N8-4N3.6-4.2玫瑰金/咖啡金圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯铬(Cr)靶2N7-4N7.19白色/黑色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯钛(Ti)靶2N8-4N4.51金黄色/枪黑色/    蓝色/玫瑰红圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯锆(Zr)靶2N5-4N6.5金色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯铝(Al)靶4N-5N2.7银色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯镍(Ni)靶3N-4N8.9金属本色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
镍钒(Nir)靶3N8.57蓝绿色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯铌(Nb)靶3N8.57白色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具
纯钽(Ta)靶3N516.4黑色/紫色圆柱形直径    60/65/95/100*30/32/40/45mm装饰/工具

钛靶概述及材质要求

1、纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

2、杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

钛靶

3、密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

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